技术编号：7237084
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理系统，特别涉及用在基板处理系统中以 方便传送基板的监视系统。背景技术平板显示器可包括液晶显示器、等离子显示板、有机发光二 极管以及其它类似器件。这些平板显示器可以利用包括处理室、 加载锁定真空室和传送室的真空处理设备来制造。处理室处理基板的表面，例如，通过在真空中使用等离子、 热能或类似物而进行蚀刻处理。加载锁定真空室从外侧接收未处 理基板，并将处理后的基板排放到外侧，同时在大气状态和真空 状态之间进行交替。当将基板引入处理室和由处理室排...
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