技术编号：7237086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种具有门缝打开和关闭装置的处理室。 背景技术处理室是已知的。然而，它们存在着各种缺点。 发明内容本发明用于解决现有技术中的各种缺点。为此，本发明提供一种具有门缝打开和关闭装置的处理室，其 包括室本体；形成于室本体的壁中的门缝，基片由此装载入室本 体和从室本体中卸载；至少一个内门，所述内门可旋转地安装在门 缝的相对开口中的内开口处以便打开和关闭内开口；以及旋转所述 至少 一 个内门以便打开和关闭内开口的门驱动机构。优选地，还包括止动件，其限制所...
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