非易失性半导体存储器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:7237387

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本发明涉及非易失性半导体存储器件,尤其涉及对MONOS (Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor)型存储单元的高可靠度、 高速动作有效的技术。背景技术作为集成于LSI中的集成半导体存储器之一有非易失性存储器。 这种元件即使切断LSI的电源也能保留存储信息,其广泛用于各种应 用当中,因此成为极为重要的元件。在非易失性存储器中能够利用各 种方法存储信息,利用电子、空穴的电荷积蓄量来存储信息的方式的 非易失性存储器,众所周...
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