技术编号:7237821
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种存储器及其制造方法,且特别涉及一种非易失性存储器及其制造方法。背景技术在各种存储器产品中,具有可进行多次数据的存入、读取、抹除等动作, 且存入的数据在断电后也不会消失的优点的非易失性存储器,已成为个人计 算机和电子设备所广泛采用的一种存储器元件。请参照图1 ,其为已知一种非易失性存储器的剖面示意图。浮置栅极106a 配置于浅沟槽隔离结构(shallow trench isolation , STI) 102之间的基底100上。 隧穿介电层10...
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