技术编号:7237938
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。CMOS图像传感器微透镜的制造方法本申请要求享有于2006年12月28日提交的韩国专利申请No. 10-2006-0135922的权益,在这里引入其全部内容作为参考。背景技术本发明涉及一种微透镜的制造方法,尤其涉及一种使用阻挡肋条和氧化物 薄膜的沉积以及最小化微透镜间隔距离以保护微透镜表面再现的微透镜制备 方法。图像传感器是可以将光学图像转换为电信号的半导体器件。图像传感器可 以分为电荷耦合器件(CCD)图像传感器和CMOS图像传感器。CCD图像传感器可能...
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