GaN基发光二极管表面粗化的处理方法技术资料下载

技术编号:7238248

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本发明涉及半导体光电子器件制造,具体地说是一种GaN基发 光二极管LED表面粗化的处理方法,可用于提高器件的发光效率。技术背景GaN基发光二极管LED以其寿命长、可靠性高、高效节能等优异特性在 显示技术和固态照明领域具有广泛的应用。目前,GaN蓝光LED发光效率为 几个流明/瓦,GaN白光LED,即蓝光+荧光粉的发光效率通常为几十流明/瓦, 与白炽灯相当,但仍低于荧光灯水平。因此,如何提高发光效率成为GaN基 LED面临的一个主要技术瓶颈。提高LED发光效...
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