技术编号：7238481
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于集成抗反射层(anti-reflection layer)与自行对准硅化物块(salicide block)的方法，特别是可以简化光检测元件的制造程序的方法。随着半导体技术的进步以及市场对小尺寸元件日益增加的需求，将多数不同功能单元集成在一个芯片中的微型高功能元件的重要性是日渐重要的，例如同时使用了光电二极管(photodiode)与晶体管(transistor)的光检测元件。但由于任一个具某特定功能的单元皆有其特定的结构与制造程序，因此在集...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。