平坦式吸嘴与芯片取放机及其半导体测试方法技术资料下载

技术编号:7238991

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本发明涉及一种半导体芯片取放吸嘴与芯片取放机及其测试方法,特背景技术随着半导体科技的进步,应用覆晶接合技术(Flip Chip Interconnect Technology)的电子元件已经逐渐成为未来小型化与轻量化电子元件的主 流。该技术是利用芯片(芯片即晶片,本文均称为芯片)上的导电凸块进行电 性及结构性的连接,然而该导电凸块一般是以焊锡材料进行制作,其硬度 较低,容易在芯片传送过程中,造成导电凸块的刮伤。请参阅图1A与图1B所示,分别是现有习知的吸嘴...
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