技术编号：7239171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光阻供应设备的，特别涉及--种光阻供应管 路装置。背景技术在晶片生产过程中，光阻是很重要的原料之一。 一般来说，光阻的价 格都是比较昂贵的，因此在生产中应当避免光阻的浪费。在当前光阻管路设计情况下，每次换光阻过滤器(filter)时，光阻在充满过滤器的过程中， 过滤器里面的空气就会混合在光阻中，所以就要进行排气泡，在这个过程 中往往要消耗掉大量的光阻和工程师的时间，给半导体厂造成很多不必要 的成本损失。目前公知的光阻供应管路装置请参见图1，其...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。