技术编号：7240874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于进行功率器件(power device)的电特性检查的探针装置(探测装置)，更详细而言，例如涉及能够以晶片级测量以绝缘栅双极晶体管(IGBT)、二极管为代表的功率器件的电特性的探针装置。背景技术功率器件作为各种电源和汽车的电装(electric fitting)关联的开关元件等,或者作为产业设备的电装关联的开关元件等的通用性正在提高。功率器件比通常的半导体元件更耐高压、电流更大、并且更加高速、高频率化。作为功率器件，存在IGBT、二极管、...
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