技术编号:7242179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有固定支撑部;板状挠性梁,至少一端被固定支撑在固定支撑部上,具有延伸的活动表面;活动电气触点,配置在挠性梁的活动表面上;固定电气触点,位置相对于固定支撑部固定,与活动电气触点相对置;第一压电驱动元件,从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸,能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移;以及第二压电驱动元件,至少配置在挠性梁的活动表面上,通过电压驱动,向活动电气触点...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。