技术编号：7242690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种。该制作方法提供一金属载板。形成一光致抗蚀剂层于金属载板上。光致抗蚀剂层具有多个开口，且开口暴露出金属载板的一部分。于光致抗蚀剂层的开口中形成多个金属保护垫。金属保护垫覆盖开口所暴露出的金属载板的部分。形成多个导电柱于光致抗蚀剂层的开口中。导电柱分别堆叠于金属保护垫上。移除光致抗蚀剂层以暴露出金属载板的另一部分。形成一绝缘材料层于金属载板上。绝缘材料层覆盖金属载板的另一部分且包覆导电柱以及金属保护垫。绝缘材料层的一上表面与每一导电柱的一顶表面...
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