有机电致发光元件、其制造方法及制造装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7243071

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本发明涉及有机电致发光元件、其制造方法及制造装置。背景技术近年来,使用了有机电致发光(以下,有时称作“有机EL”。)元件的有机EL显示器备受瞩目。在有机EL显示器中使用 的有机EL元件含有阳极、阴极和配置在该阳极及该阴极间的发光层而构成,从该阳极及该阴极分别注入的空穴及电子通过在该发光层中结合而发光。有机EL元件具有制造工序简易、能够通过容易大面积化的涂布法形成发光层等优点。具体而言,使用含有构成发光层所含成分的材料的有机溶液,形成涂布膜,再对所形成的涂布...
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