紫外线感测元件以及制作方法技术资料下载

技术编号:7243486

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本发明提供一种紫外线感测元件,可供使用于三晶体管影像感测电路中,其包括第一导电型基材、第二导电型掺杂区、以及高浓度第一导电型掺杂区。第一导电型基材具有受光面。第二导电型掺杂区设置于第一导电型基材内且邻接于受光面。高浓度第一导电型掺杂区,邻接于第二导电型掺杂区下方。本发明亦提供可使用于四晶体管影像感测电路中的另一种紫外线感测元件,其与连接三晶体管影像感测电路的紫外线感测元件相较,更增加高浓度第一导电型表面掺杂区,夹置于受光面与第二导电型掺杂区之间。此外,前述...
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