技术编号:7243892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种多栅极场效晶体管及其制作工艺,包含有一基底、一介电层以及至少一鳍状结构。基底具有一第一区以及一第二区。介电层仅位于第一区中的基底中。至少一鳍状结构位于介电层上。此外,本发明也提供一种多栅极场效晶体管制作工艺用以形成前述的多栅极场效晶体管。专利说明多栅极场效晶体管及其制作工艺[0001]本发明涉及一种多栅极场效晶体管及其制作工艺,且特别是涉及一种形成衬垫层于部分鳍状结构的侧壁,再将未被衬垫层覆盖的鳍状结构及各鳍状结构之间的基底氧化的多栅极场效晶...
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