深紫外非晶透明导电膜及其制备方法技术资料下载

技术编号:7244211

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本发明涉及一种,属于电子材料技术 领域。(二) 背景技术透明导电膜因同时具有可见光范围的透明性和良好的导电性的独特性质, 从而作为透明电极而被广泛应用于有机电致发光、液晶显示器、太阳能电池等 尖端先进领域,应用前景广阔。目前常见的透明导电膜有掺锡的氧化铟(简称ITO)薄膜、掺锑的氧化锡(Sn02Sb)薄膜、掺氟的氧化锡(Sn02F)薄膜和掺铝的氧化 锌(ZnOAl)薄膜。除了上述的一些常见的透明导电膜以外,还有一些二元氧化 物混和组成的金属氧化物作为潜在的...
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