技术编号:7245968
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板的装载机构,具体地说是一种兼容不同基板装载的装载机构。包括加载装置、装载制具、片盒及传感器,其中加载装置包括承载台,所述装载制具设置于承载台上,待加工的不同尺寸的晶圆分别放置于不同的片盒中,所述装有不同尺寸晶圆的片盒分别设置于加载装置的承载台和装载制具上,所述传感器设置于装载制具上、并自动识别设置于装载制具上的晶圆。本发明在同一设备上保障了不同尺寸的基板晶圆正确的工艺制程,大大避免了误操作,从而会给操作者省去了不必要的麻烦。专利说明兼容不同基...
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