技术编号:7246346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,包括提供待刻蚀层,待刻蚀层表面具有分立的第一牺牲层;在待刻蚀层表面以及第一牺牲层的侧壁和顶部形成第二牺牲薄膜、以及第二牺牲薄膜表面的第一侧墙层;平坦化第二牺牲薄膜和第一侧墙层,直至暴露出第一牺牲层的顶部表面,第一侧墙层形成第一侧墙,第二牺牲薄膜形成第二牺牲层,第二牺牲层和第一侧墙的顶部表面与第一牺牲层的顶部表面齐平;在平坦化工艺之后,去除第一牺牲层;去除第一牺牲层之后,在第二牺牲层和第一侧墙两侧的待刻蚀层表面形成第二侧墙;以第一侧墙和第二侧墙为掩膜,...
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