技术编号:7246636
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置,该薄膜晶体管包括栅极、有源层以及位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层,其特征在于,所述栅极绝缘层和有源层之间还设置有晶体材料薄膜层。本发明可克服栅极绝缘层中-OH基团与有源层发生界面反应、以及栅极绝缘层表面被轰击产生的缺陷,从而优化薄膜晶体管的特性。专利说明一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置[0001]本发明涉及显示器,尤其涉及一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置。背景技术[00...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。