技术编号:7246669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,将产品与产品所经历制程对应的设备进行关联,在现有的检测方法基础上结合设备状态决定具体某个产品进站检查,以实现对因设备影响下的缺陷检测,避免产品检测随机性、提高检测效率以及时效性。专利说明[0001]本发明涉及半导体器件制造领域,尤其涉及一种。背景技术[0002]随着器件特征尺寸的减小和集成度的提高,产品缺陷对于产品良率的影响越来越大。为了在生产过程中在线监控产品的缺陷状况,及时对缺陷成因进行追踪、分析与改善等工作变得越来越重要。[0003...
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