技术编号:7247922
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种静电卡盘,包括用于承载被加工工件的卡盘和基座,在所述卡盘和基座之间设置有隔热组件,所述隔热组件包括上环板、下环板和膨胀隔热环,其中,所述上环板和所述下环板为闭合的环形结构件,并且二者相对设置;所述膨胀隔热环为闭合的环形薄壁结构件,其设置在所述上环板和下环板之间,并且所述膨胀隔热环的两个端部分别与所述上环板和所述下环板密封固定。上述静电卡盘不仅具有良好的隔热效果,而且加热均匀,从而提高了等离子体加工设备的加热效率和加热均匀性。此外,上述静电卡盘...
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