技术编号:7248215
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜电池工艺,尤其涉及一种铜铟镓硒薄膜电池共蒸发工艺中线性源阵列的排布,包括玻璃基板和线性蒸发源,包含不同原料的线性蒸发源沿玻璃基板的移动方向纵向排列,组成线性蒸发源列,线性蒸发源列为一列,位于玻璃基板的正下方。线性蒸发源为圆柱体或者长方体,其上设有狭长缝状的蒸发带或者设有点状的蒸发孔。本发明能够有效的按照预设的工艺配比设定蒸发区,大幅提高电池生产工艺中原料配比的调节灵活性。专利说明一种铜铟镓砸薄膜电池共蒸发线性源阵列的排布[0001...
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