技术编号:7249199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蒸镀装置(1)通过蒸镀处理在被成膜基板(40)上形成规定图案的发光层(47),蒸镀装置(1)包括喷嘴(13),其形成有在进行蒸镀处理时向被成膜基板(40)射出形成发光层(47)的蒸镀颗粒(17)的多个射出口(16);和多个限制板(20),该多个限制板(20)配置于喷嘴(13)与被成膜基板(40)之间,对从多个射出口(16)射出的蒸镀颗粒(17)相对于被成膜基板(40)的入射角进行限制,喷嘴(13)包括在配置被成膜基板(40)的一侧的面具有开口部(14c)的...
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