技术编号:7249206
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种气相生长装置(1),具备反应炉(5),能够装卸地设置有基座(3)以进行气相生长;运送机器人,运送所述基座(3);手套箱(9),收容有该运送机器人及所述反应炉(5);交换台(11),设置在该手套箱(9)内以在基座(3)的交换时暂时放置基座(3);和交换箱(13),设置在所述手套箱(9)的侧壁上以进行基座的交换,在所述气相生长装置中,所述交换台具备定位装置,所述定位装置当放置所述基座时进行旋转,并停止在规定的旋转位置从而确定所述基座的旋转方向的位...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。