技术编号:7249511
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种晶片检查系统包含激光器液滴等离子体LDP光源,所述激光器液滴等离子体光源以充分的辐射率产生光以使得能够以低至40纳米的波长进行明亮场检查。由所述LDP源产生的光被引导到所述晶片,且来自被照射的晶片的光被具有全反射元件的高NA物镜收集。检测器检测所述所收集光以供进一步的图像处理。所述LDP源包含液滴产生器,所述液滴产生器分配进料的液滴。由激光器产生的激发光聚焦在所述进料的液滴上。所述激发光与所述液滴的相互作用产生等离子体,所述等离子体在从40纳米到200...
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