技术编号:7249683
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法,本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时,利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度,从而能够缩短检测时间,并且减少结果数据容量,其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且,本发明利用远心透镜,从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量,从而提高检测精度,其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。专利说明TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法[0001]...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。