技术编号:7249951
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种静电卡盘装置,其具备具有作为载置板状试样(W)的载置面的一个主面并且内置有静电吸附用内部电极(13)的静电卡盘部(2)和用于调节静电卡盘部(2)的温度的温度调节用基部(3),温度调节用基部(3)的、位于静电卡盘部侧的表面的一部分或整个面由片状或膜状的绝缘材料(4)覆盖,在该绝缘材料(4)上胶粘有薄板状的加热元件(5),静电卡盘部(2)与温度调节用基部(3)隔着使液态的胶粘剂固化而成的绝缘性的有机类胶粘剂层(6)胶粘一体化。专利说明静电卡盘装置[0001...
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