技术编号:7250376
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通过对构成用于压电元件的下部电极的Pt层全部同时规定摇摆曲线的半宽度、表面的平均粗糙度、以及平均粒径,从而将特性良好的Pt层稳定成膜,在该Pt层上将特性良好的压电薄膜稳定成膜。专利说明压电元件用下部电极及具备它的压电元件[0001]本发明涉及一种形成于基板上的成为压电薄膜的下部电极的压电元件用下部电极和具备该下部电极的压电元件。背景技术[0002]近年来,一直使用Pb (Zr, Ti) O3等压电体作为应用于驱动元件、传感器等的机电转换元件。这样的压电体通...
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