技术编号:7251167
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。面发射激光器元件包括下DBR,形成在基板上;有源层,形成在下DBR之上;上DBR,形成在有源层上。上DBR包括电介质多层,该电介质多层通过交替层叠形成具有不同折射率的电介质而形成,遮光部形成在上DBR之上,并且遮光部在中心区域具有用于发射光的开口部。专利说明面发射激光器元件和原子振荡器[0001]本发明涉及面发射激光器元件和原子振荡器。背景技术[0002]垂直腔面发射激光器(VCSEL)是在垂直于基板表面的方向上发光的半导体激光器,并且与边缘发射式半导体激...
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