技术编号:7251706
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在两个导电电极之间夹置的晶体半导体类肖特基势垒二极管与存储器元件、字线和位线串联,其中该设置提供大于IV的电压容限以及大于5×106A/cm2的电流密度。该类肖特基势垒二极管可以在与低温BEOL半导体加工兼容的条件下制造,可以在低电压下提供高电流,呈现高的导通-关断比,并且实现了大存储器阵列。专利说明微电子器件[0001]本发明总体上涉及微电子器件领域。更具体地,本发明涉及用于大的电子部件阵列中的微电子器件。背景技术[0002]为了增加存储器技术(易失性和...
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