光学用基材以及半导体发光元件的制作方法技术资料下载

技术编号:7251730

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本发明提供一种具有通过减少导体层中的错位缺陷数改善内量子效率IQE、并提高LED的发光效率的微细结构体的光学用基材。光学用基材(1)具有微细结构层(12),所述微细结构层(12)包含由从基材(11)主面向面外方向延伸的多个凸部(13)构成的点,微细结构层(12)在基材(11)主面内的第一方向上具有多个点构成以间距Py排列而成的多个点列(13-1~13-N),在基材(11)主面内的与第一方向正交的第二方向上具有多个点以间距Px排列而成的多个点列,间距Py以及...
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