技术编号:7251954
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。周期性地切换环绕等离子体反应器的处理区域的电子束源阵列以改变电子束传播方向并消除或降低不均匀性。专利说明用于均匀等离子体产生的切换式电子束等离子体源阵列发明领域[0001]本发明的实施例是关于用于均匀等离子体产生的切换式电子束等离子体源阵列。[0002]背景[0003]用于处理工件的等离子体反应器可使用电子束作为等离子体源。此类等离子体反应器可展现归因于电子束内的电子密度及/或动能的不均匀分布的处理结果的不均匀分布(例如,横跨工件表面的蚀刻速率的分布)。此...
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