技术编号：7252131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于存储和传输物品的设备和方法，更具体地涉及工件储料器结构，例如用于半导体晶片、刻线或载体盒的储料器。专利说明用于裸工件储料器的容器存储附加装置[0001]本发明涉及半导体设备，更具体地涉及改进制造工厂处理的设备和方法。背景技术[0002]储料器通常安装在用于临时存储诸如晶片、平板显示器、IXD、光刻刻线(reticle)或掩模之类的工件的半导体工厂。[0003]在制造半导体器件、IXD面板和其他装置的工艺中，存在数百种处理设备并且因此存在数...
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