技术编号:7252221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种绝缘可靠性较高、并具有良好的放电特性的ESD保护器件。ESD保护器件包括第1及第2放电电极,该第1及第2放电电极配置成彼此相对;放电辅助电极,该放电辅助电极以横跨第1和第2放电电极之间的方式形成;以及绝缘体基材,该绝缘体基材保持第1及第2放电电极、以及放电辅助电极,在所述ESD保护器件中,放电辅助电极由多个金属粒子(24)的集合体所构成,多个金属粒子(24)被由碳化硅构成的半导体膜(23)所覆盖。为了获得这样的放电辅助电极,对在金属粒子表面固...
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