技术编号:7252257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种图案形成方法,所述方法以下列顺序包括步骤(1)用电子束敏感或极紫外线辐射敏感树脂组合物形成膜,所述电子束敏感或极紫外线辐射敏感树脂组合物含有树脂(A)、化合物(B)和溶剂(C),所述树脂(A)具有酸分解性重复单元并且能够通过酸的作用降低所述树脂(A)在含有有机溶剂的显影液中的溶解度,所述化合物(B)能够在用电子束或极紫外线辐射照射时产生酸;步骤(2)用电子束或极紫外线辐射将所述膜曝光;和步骤(4)在所述膜的曝光之后通过用包含有机溶剂的显影液将所述膜显影...
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