技术编号:7252529
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文提供静电夹具的实施方式。在一些实施方式中,用于固定基板的静电夹具包括底板;陶瓷板,陶瓷板由所述底板支撑,陶瓷板具有基板支撑表面;多个第一电极,所述多个第一电极设置于陶瓷板内,所述多个第一电极具有第一极性;以及多个第二电极,所述多个第二电极设置于陶瓷板内,所述多个第二电极具有与第一极性相反的第二极性,其中多个第一电极与多个第二电极是独立可控的以提供所期望的夹持功率与频率。专利说明静电夹具[0001 ] 本发明的实施方式大体涉及用于支撑基板的静电夹具。背景...
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