技术编号:7252856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供用于EMS装置的系统、方法及设备。在一方面中,EMS装置包含至少一个可移动层,所述可移动层经配置以相对于一个或一个以上电极移动。所述至少一个可移动层可包含第一导电层、第二导电层及安置于所述第一导电层与所述第二导电层之间的非导电层。在一些实施方案中,所述可移动层可包含经由所述非导电层电连接所述第一导电层与所述第二导电层的至少一个导电通孔。专利说明机电系统装置[0001 ] 本发明涉及用于机电系统中的可移动层。背景技术[0002]机电系统(EMS)包...
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