技术编号:7252857
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于在等离子体处理室中支撑半导体衬底的下电极组件包括温控下基板、上板以及包围粘结层的安装凹槽;以及封边,其包括在未压缩状态下具有外部凹面的弹性体带,所述弹性体带安装在所述凹槽中使得所述弹性体带的上端和下端被轴向压缩并且所述弹性体带的最大向外膨胀不大于预定的距离。专利说明用于下电极组件的封边 相关申请的交叉引用[0001]本申请是于2011年10月20日提交的题为“Edge Seal for ElectrodeAssembly (用于下电极组件的封边)...
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