技术编号:7253390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成复合膜的薄膜的制造方法,层叠薄膜时改善表面状态的。本发明的实施形态,基板上制造不同薄膜的方法,包括蒸镀第1薄膜的步骤;蒸镀第2薄膜的步骤;在蒸镀所述第1薄膜和第2薄膜的步骤之后,向所述薄膜表面施加高频电力而消除薄膜表面的不纯物的步骤;在所述第1薄膜的表面上蒸镀第2薄膜之前,利用热化学气相沉积(Thermal-CVD),在第1薄膜的表面形成缓冲膜而减少表面能量。专利说明[0001]本发明涉及形成复合膜的薄膜的制造方法,层叠薄膜时改善表面状态的。...
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