技术编号:7253595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。开关包括安置于基板上的梁电极。梁包括耦合至梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与第一方向相反的第二方向从至少一个锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极安置于基板上,面向第一梁部分。第一接触电极安置于基板上,面向第一梁部分。第二控制电极安置于基板上,面向第二梁部分。第一控制电极和第二控制电极耦合以形成栅极。第二接触电极安置于基板上,面向第二梁部分。专利说明背景技术[0001]微机电系统(MEMS)装置具有多种多样的应用,并且...
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