技术编号:7253610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示抛光基板的方法、装置及系统。该装置包括上部平台;扭矩/应变测量仪,该扭矩/应变测量仪耦接至上部平台;以及下部平台,该下部平台耦接至扭矩/应变测量仪并适于经由扭矩/应变测量仪驱动上部平台旋转。在其他实施例中,该装置包括第一托架;耦接至第一托架的侧向力或位移测量仪;及耦接至侧向力或位移测量仪的第二托架,且其中第一托架与第二托架中之一适于支撑抛光头。本发明揭示多个额外方面。专利说明[0001]本发明与2011年 11 月 16 日申请的标题为“SYST...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。