技术编号:7253615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示一种指叉式背接触太阳能电池及其制造指叉式背接触太阳能电池的改良方法。第一光罩是用n型掺杂物的图案化离子植入以完成背面场。第二光罩是用以在同一平面上产生p型发射体。第二光罩用以与n型植入对齐,并于多个取向以产生所需的p型发射体。在一些实施例中,进行p型参杂物全面性离子布植。在一些实施例中,产生掺杂梯度。专利说明背景技术[0001]离子布植是一种把导电性改变杂质引入基板内的标准技术。一杂质材料在一离子源中被离子化,并加速离子以形成一预设能量的离子束,...
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