技术编号:7253895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种支撑物,该支撑物包括导电偏压台;具有肩部21的圆柱形式的绝缘静电衬底载体20,衬底载体20的底面面向偏压台,并且,其顶面22呈现被设置用于接收衬底的承载面;用于紧固所述肩部21在所述偏压台上的导电夹紧环,此外,该支撑物还包括用于将承载面连接到肩部211上的至少一个导电元件201-202-203。专利说明包括静电衬底载体的支撑物[0001]本发明涉及包括静电衬底载体的支撑物。[0002]本发明的领域是在低压气氛中处理部件的领域,这些部件安装于支...
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