技术编号:7254280
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种中介层装置,包括掺杂硅衬底(1),其具有在第一面上的外延层(24)和两个通孔(11,12),该通孔从第一面延伸到与掺杂硅衬底的第一面相对的第二面。各个通孔包括通过周围沟槽(7)所限定的掺杂硅衬底的体积,周围沟槽从掺杂硅衬底的第一面延伸到第二面使得周围沟槽被布置成电隔离通过所述沟槽所包围的掺杂硅衬底。第一导电层和第二导电层(121,122)分别放置在第一通孔的第一面和第二面上以便电连接到一起,第三导电层和第四导电层(112,11)分别放置在第二...
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