技术编号：7254774
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了暴露期望的特征，对来自横截面的薄片的聚焦离子束研磨与形成每个新暴露的横截面的扫描电子图像交替。当新暴露的横截面的电子束图像的自动分析示出满足预定标准时，停止研磨。专利说明用于聚焦离子束处理的终点确定 [0001]本发明涉及带电粒子处理，并且尤其涉及一种用于自动化带电粒子束工艺的技术。 背景技术 [0002]纳米技术产生越来越小的电路和其它元件，产生和操纵纳米尺度的物体变得更加困难。而已知的是期望使纳米工艺自动化，如果对于许多工艺不是不可能的话...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。