技术编号：7255129
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种具有不平整表面的基板的检视方法，其包括根据预设选取规则设定可透介质，再于基板的粗糙面加上可透介质，通过平整该粗糙面来检视基板。其中，检视方法可应用于检视晶圆盘，并且能从贴附该晶圆盘的承载膜的粗糙面检视施作于该晶圆盘的集成电路，降低晶圆盘报销的风险，增加芯片生产的良率。专利说明[0001]本发明关于一种检视方法，特别在于增加透视效果的基板的检视方法。背景技术[0002]请参考图1所示，一般毛玻璃I是于一表面上布满数个不规则的凸起，而形成一粗糙...
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