技术编号:7255391
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将基板夹持于其表面上的基板支撑结构。背景技术将基板(例如晶圆)固定于基板支撑结构(例如晶圆台)的表面上的夹持操作在半导体产业中是众所周知的,特别是在光刻系统中。在此种光刻系统中,被夹持的基板是藉由曝露至入投射光子或带电粒子(例如是离子或电子)而形成图案。夹持操作允许在基板表面的靶材部分上形成高精确度的图案。一种夹持操作的方法是藉由吸去基板与基板支撑结构之间的空气,即藉由在基板 与基板支撑结构之间产生真空作用。然而,如果被夹持的基板要在真空环境内被...
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