技术编号：7255393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用压电材料来进行电控制的压电致动器。背景技术目前，已经提出了由MEMS元件构成的各种开关元件。作为这样的开关元件，例如专利文献I所示那样有利用了压电致动器的开关元件。在专利文献I所述的压电致动器的开关元件中，在基底基板的表面安装有悬臂的臂。臂具备与成为悬臂的支承部的基底基板正交的壁面的垂直壁部、和被该垂直壁部支承的与基底基板部平行的壁面的水平壁部。在水平壁面上形成有可动电极。在该可动电极的 上方，在覆盖臂的盖部的内壁形成有固定电极。在臂的水平壁...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。