技术编号：7255414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池元件的η型扩散层形成组合物、η型扩散层的制造方法和太阳能电池元件的制造方法，更详细地说，涉及能够在作为半导体基板的硅基板的特定的部分形成η型扩散层的技术。背景技术对以往的硅太阳能电池元件的制造工序进行说明。 首先，为了促进光封闭效果实现高效率化，准备形成了纹理结构的P型硅基板，接着在氧氯化磷(POCl3)、氮气、氧气的混合气体气氛中在800 900°C下进行数十分钟的处理，在基板上均匀地形成η型扩散层。对于该以往的方法，由于使用混合气体...
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