技术编号：7255435
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理装置。更具体而言，涉及一种仅在必须使用基板托架的工序中使用基板托架，从而能够提高基板处理工艺效率的基板处理装置。背景技术用于制造太阳能电池或液晶显示器的装置，大体上有蒸镀装置和热处理装置。蒸镀装置是用于形成构成太阳能电池或液晶显示器的半导体层的装置，包括如LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition 低压化学气相淀积)或 PECVD (PlasmaEnhanced Chemical Vapor...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。